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모노실란(Silane) / SiH4
  • 글쓴이 관리자
  • 작성일 2009-06-03 13:56:43
  • 조회수 7994
물질명
모노실란(Silane)
CAS No.
7803-62-5
분자식
SiH4
RTECS No.
VV1400000
분자량
32.12
UN No.
2203
관용명
실레인, 모노사일렌(monosilane), 실리칸(silicane), 실리콘하이드라이드(silicon hydride), 실리콘 테트라수화물(silicon tetrahydride)
특 성
◦반도체 공정의 도핑액(doping agent)로 이용 
◦가연성가스로 공기 중에서 자연발화 
◦강력한 환원제 
◦물과 천천히 반응 
◦할로겐족(브롬, 염소 등)과 반응 
◦가열시 실리콘과 산소로 분해
물리화학적
성질
◦자연발화성, 가연성 가스 
- 색상 : 무색 
- 냄새 : 불쾌한 냄새 
- 용해도(물) : 천천히 반응, 약간 녹음, 분해됨 
- 끓는점 : -169 ℃ 
- 녹는점 : -185 ℃ 
- 인화점 : -236 ℃ 
- 증기압 : - mmHg (25℃) 
- 증기밀도 : 1.3 (공기=1) 
- 비중 : - (물=1)
폭발범위
◦폭발하한 (LEL) : 1.37 % 
◦폭발상한 (UEL) : 100 %
허용농도
◦TLV-TWA : ppm (ACGIH), mg/㎥ 
◦LC50 : ppm/ 1hr rat.
인체영향
◦들숨(breath-in)시 인체 영향 
◦눈, 피부, 호흡기 자극 
◦액체 접촉시 동상 
◦고농도에 노출시 증상은 자료 불충분으로 알수 없음
응급조치
◦눈 : 렌즈착용자는 렌즈를 즉시 제거하고, 위·아래 눈꺼풀을 올려가면서 최소 15분 동안 물에 헹굼 
◦흡입 : 다량의 물을 마시고, 구토 유발. 단, 의식불명상태인 경우는 구토를 시키지 않음 
◦오염된 부위를 문지르거나 붉게 변한 부분은 물에 닿으면 안됨 
◦동상을 입은 부위에서의 얼어붙은 옷은 제거하지 않음 
◦동상을 입지 않은 부위의 오염된 옷은 제거 후, 비누칠을 하여 물에 즉시 헹굼
물질표시
위험성
◦극인화성가스  
◦고압가스; 가열시 폭발할 수 있음 
◦피부에 자극을 일으킴 
◦눈에 심한 자극을 일으킴 
◦호흡기계 자극을 일으킬 수 있음 
◦장기간 또는 반복적으로 노출되면 (폐)장기에 손상을 일으킬 수 있음
대피반경
◦소량 누출 
- 초기대피 :100 m 
◦다량 누출 
- 초기대피 : 800 m 
- 화재발생 : 1.6 km
취급시
주의사항
◦물리적 손상을 입지 않도록 보호조치를 취할 것 
◦용기는 서늘하고 건조한 곳에 보관하고 날씨 및 온도변화로부터 보호할 것
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